មីយ៉ាន់ម៉ាផ្ទះបាយនិងដំណើរការងូតទឹករបស់ Meiao បានបង្ហាញ
2024-03-21
បច្ចេកវិទ្យា PVD (ប្រាក់បញ្ញើឡើងភ្នំឡើងភ្នំ) គឺជាបច្ចេកវិទ្យាព្យាបាលផ្ទៃខាងលើកម្រិតខ្ពស់ដែលបានអនុវត្តក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះដែលប្រភពនៃប្រភពសម្ភារៈរឹងឬរាវគឺមានអាតូមអាតូមឬអ៊ីយ៉ុងមួយផ្នែកដែលត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃខាងលើដែលត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃខាងលើ។ ស្រទាប់ខាងក្រោមបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយដែលមានមុខងារពិសេស។ បច្ចេកវិទ្យានេះត្រូវបានបែងចែកជា 3 ប្រភេទសំខាន់ៗគឺថ្នាំកូតដែលហួតខ្វះចន្លោះថ្នាំកូតផ្លុំក្រអូបនិងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងដែលរួមបញ្ចូលវិធីសាស្រ្តជាច្រើនប្រភេទដូចជាការហួតពង្រែលនិងអគារអគ្គិសនី។
នៅក្នុងដំណើរការ PVD ជំហានដំបូងគឺការហើមពោះនៃវត្ថុធាតុដើមដែលជាកន្លែងដែលអាតូមហ្គាសម៉ូលេគុលឬអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានផលិតដោយកំដៅប្រភពសម្ភារៈទៅសីតុណ្ហភាពហួតដែលបណ្តាលឱ្យមានភាពរឹងមាំ។ ឧស្ម័នទាំងនេះបន្ទាប់មកធ្វើចំណាកស្រុកនិងការដាក់ប្រាក់នៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមនៅក្នុងបរិយាកាសធូលីដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។ ដំណើរការទាំងមូលគឺសាមញ្ញ, មិនបំពុលនិងបរិស្ថាន, ហើយការបង្កើតខ្សែភាពយន្តគឺឯកសណ្ឋាននិងក្រាស់, ជាមួយនឹងការផ្សារភ្ជាប់គ្នាខ្លាំងទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម។
បច្ចេកវិទ្យា PVD ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងអវកាសអេឡិចត្រូនិចអុបទិកគ្រឿងម៉ាស៊ីនសំណង់និងវាលស្រែដទៃទៀតអាចមានភាពធន់ទ្រាំដែលមានភាពស្និទ្ធស្នាលដោយប្រើគ្រឿងសំអាងការរំអិលការរំអិលនិងលក្ខណៈផ្សេងទៀត នៃខ្សែភាពយន្តនេះ។ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់និងឧស្សាហកម្មដែលកំពុងរីកចម្រើនបច្ចេកវិទ្យាថ្មីនិងបច្ចេកវិទ្យាទំនើបថ្មីជាច្រើនដូចជាបច្ចេកវិទ្យាដែលឆបគ្នាដែលមានរាងចតុកោណកែងរាងចតុកោណកែងរាងចតុកោណកែងធំ ៗ និងគោលដៅធ្លាក់ចុះ។ ល។ បានលេចចេញមក ជំរុញការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យា។
រោងចក្ររបស់យើងប្រើថ្នាំកូតដែលហួតខ្វះចន្លោះប្រភេទទីមួយហើយដំណើរការទាំងមូលនៃថ្នាំកូតនេះនឹងត្រូវបានពិពណ៌នាលម្អិតដូចខាងក្រោម។
ថ្នាំកូតដែលហួតទំនៀមទម្លាប់គឺជាវិធីមួយក្នុងចំណោមវិធីចាស់និងប្រើជាទូទៅបំផុតក្នុងបច្ចេកវិទ្យា PVD ។ នៅក្នុងដំណើរការនេះគោលដៅចានត្រូវបានកំដៅដំបូងទៅសីតុណ្ហភាពហួតបណ្តាលឱ្យវាមានចំហាយទឹកហើយទុកឱ្យរាវឬផ្ទៃរឹង។ បនា្ទាប់មកបនា្ទាប់មកសារធាតុហ្គាសទាំងនេះនឹងធ្វើចំណាកស្រុកទៅផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងកន្លែងទំនេរហើយទីបំផុតបានដាក់ប្រាក់ដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្តើង។
ដើម្បីសម្រេចបាននូវដំណើរការនេះប្រភពហួតត្រូវបានប្រើដើម្បីកំដៅសម្ភារៈចានដើម្បីហួតសីតុណ្ហភាពហួត។ មានជំរើសផ្សេងៗគ្នាសម្រាប់ប្រភពនៃការហួតរួមមានកំដៅធន់ទ្រាំនឹងធ្នឹមអេឡិចត្រុងធ្នឹមឡាស៊ែរនិងអ្នកដទៃទៀត។ ក្នុងចំណោមប្រភពនៃការហួតការតស៊ូនិងប្រភពហួតអេឡិចត្រុងគឺជារឿងធម្មតាបំផុត។ បន្ថែមពីលើប្រភពនៃការហួតធម្មតាក៏មានប្រភពហួតដែលមានគោលបំណងពិសេសផងដែរដូចជាកំដៅដែលមានកំដៅប្រេកង់ខ្ពស់, កំដៅធ្នូ, កំដៅដោយរស្មីនិងអ្វីៗផ្សេងទៀត។
លំហូរដំណើរការមូលដ្ឋាននៃចានហួតខ្វះចន្លោះមានដូចខាងក្រោម:
ការព្យាបាលដោយចាន: រួមទាំងការសំអាតនិងការធ្វើពុត។ ជំហាននៃការសម្អាតរួមមានការលាងសំអាតសារធាតុមហារីកសារធាតុរំលាយសារធាតុគីមីការសំអាត ultrasonic ការសំអាតអ៊ីយ៉ុងនិងការសំអាតអ៊ីយ៉ុង។ ល។
ការផ្ទុកទំនិញ។
3. ការស្រង់ចេញផ្សាយរលកធាតុអាកាសដំបូង: ដំបូងការបូមរដុបត្រូវបានអនុវត្តទៅខាងលើ 6.6 ប៉ាបន្ទាប់មកដំណាក់កាលខាងមុខនៃម៉ាស៊ីនបូមសាយភាយត្រូវបានធ្វើឱ្យសកម្មដើម្បីរក្សាម៉ាស៊ីនបូមធូលីហើយបន្ទាប់មកម៉ាស៊ីនបូមសាយភាយត្រូវបានកំដៅឡើង។ បន្ទាប់ពីទទួលបានការជឿឱ្យបានគ្រប់គ្រាន់សូមបើកសន្ទះខ្ពស់ហើយប្រើម៉ាស៊ីនបូមសាយភាយដើម្បីបូមធូលីទៅម៉ាស៊ីនបូមធូលីនៃ 0.006PA ។
4. ដើរលេង: ផ្នែកដែលបានសន្យាត្រូវបានកំដៅដល់សីតុណ្ហភាពដែលចង់បាន។
5. ការទម្លាក់គ្រាប់បែកការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានអនុវត្តនៅកម្រិតទូតប្រហែល 10 ប៉ារហូតដល់ 0.1 PA ដោយប្រើវ៉ុលខ្ពស់អវិជ្ជមានរហូតដល់ 200 ខ។
6. ការរលាយ: កែតម្រូវចរន្តដើម្បីបណ្តេញសម្ភារៈសំណព្វជាមុននិង Degas រយៈពេល 1 នាទីទៅ 2 នាទី។
ការប្រាក់បញ្ញើ 7. ពលស្ទាព្យ: កែតម្រូវចរន្តហួតតាមតម្រូវការបច្ចុប្បន្នរហូតដល់ការឈានដល់ម៉ោងបញ្ចប់ដែលចង់បាន។
8. ក្រេវក្រន្លេស: ត្រជាក់ផ្នែកដែលបានសន្យាទៅនឹងសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយនៅក្នុងបន្ទប់ទំនេរ។
9.dsarching: បន្ទាប់ពីដកផ្នែកដែលបានដាក់ចានបិទបន្ទប់បូមទឹកដោយបូមធូលីទៅ 0.1 Pa បន្ទាប់មកត្រជាក់ម៉ាស៊ីនបូមសាយភាយទៅនឹងម៉ាស៊ីនបូមទឹកនិងទឹកត្រជាក់។
- ការព្យាបាល: អនុវត្តការងារក្រោយការព្យាបាលដូចជាការដាក់ពាក្យសុំថ្នាំកូតកំពូល។
